◆大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度（X軸：80mm/s Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
◆為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度精度規(guī)格，三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
◆大量的外圍設(shè)備支持CNC模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。

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◆大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度（X軸：80mm/s Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
◆為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度精度規(guī)格，三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
◆大量的外圍設(shè)備支持CNC模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。
◆驅(qū)動(dòng)裝置（X軸）和立拄（Z2軸）中集成了高精度光柵尺（Z2軸為ABS型），從而提高了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工件的重復(fù)精度。
◆X軸精度：±（0.8+0.01L）μm Z1軸精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm *（CV-4100S4、H4、W4），針對(duì)高精度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。 L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 H為測(cè)量高度
◆CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了Laser Hologage檢位器，在Z軸（垂直方向）的窄/寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供的精度和分辨率。

X軸
測(cè)量范圍	100mm
分辨率	0.05um
檢測(cè)方法	反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度	80mm/s和手動(dòng)
測(cè)量速度	0.02-5mm/s
移動(dòng)方向	向前/向后
直線度	0.8um/100mm,2um/200mm *當(dāng)X軸在水平方向上
指示精度 (20°C時(shí))	± (1+0.01L)um *L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾斜范圍	±45°

Z2軸（立柱）
垂直行程	300mm
分辨率	1um
檢測(cè)方法	ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度	0-20mm/s和手動(dòng)

Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍	±25mm
分辨率	0.2um
檢測(cè)方法	線性編碼器
指示精度 (20°C時(shí))	± (2+\|4H\|/100)um *H為水平位置上的測(cè)量高度(mm)
測(cè)針上/下運(yùn)作	弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針?lè)较?/span>	向上/向下
測(cè)力	30mN
跟蹤角度	向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖	半徑：25um、硬質(zhì)合金針尖
電源	100-240VAC±10%,50/60Hz

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